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荷兰新规所有DUV光刻机都禁止出口?ASML正式回应


(资料图片仅供参考)

快科技7月1日消息,昨天有消息称,ASML旗下所有的DUV光刻机,出口都要被经过认可才可以。

对于这样的说法,也是引起了热议,不过ASML给出了回应。

ASML表示,出口管制条例只涉及部分最新DUV型号,包括TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统。EUV光刻机在此前已经受到限制,其他系统的发运未受管控。

此外,ASML还表示,上述规定是在9月1日才生效,而他们已经提交了许可申请。

所以,在上述时间之前发货的DUV光刻机或不受影响,此前业内猜测的TWINSCAN NXT:1980Di也不受影响。

在这之前,光刻机大厂ASML高管对外表示,半导体业只有通力合作,建立完全自主的产业链,即使并非不可能也会极其困难。

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